Обработка полупроводниковых пластин
Серия прецизионных шпинделей PDMS с воздушными подшипниками использует свойство вязкости газа, составляющее всего 1/1000 от вязкости обычного смазочного масла, в сочетании с конструкцией каналов для потока воздуха под давлением. Это создает внутри шпинделя воздушный подшипник, обеспечивающий несущую способность. Благодаря экологичности, высокой скорости и интеллектуальным функциям, серия PDMS отвечает требованиям обработки полупроводниковых пластин, таким как резка, утонение и полировка, что делает ее идеальным выбором для локализации производства полупроводниковых компонентов.
