产业应用

半导体晶圆加工

PDMS系列气浮精密主轴利用气体粘度仅为普通润滑油千分之一的特性，结合气压流道设计，在主轴内部形成气压轴承，从而提供承载刚性。PDMS系列主轴兼具环保、高速和智能等特点，满足半导体晶圆加工（如切割、减薄和抛光）的需求，是半导体制造组件本地化的理想选择。
半导体晶圆加工

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