Procesamiento de obleas de semiconductores
La serie PDMS de husillos de precisión con cojinetes de aire aprovecha la viscosidad del gas, que es solo 1/1000 de la del aceite lubricante convencional, combinada con un diseño de canal de flujo de aire comprimido. Esto crea un cojinete de aire comprimido dentro del husillo que proporciona rigidez para soportar cargas. Con características ecológicas, de alta velocidad e inteligentes, la serie PDMS cumple con los requisitos para el procesamiento de obleas de semiconductores, como el corte, el adelgazamiento y el pulido, lo que la convierte en una opción ideal para la localización de componentes para la fabricación de semiconductores.
