Halbleiterwafer-Verarbeitung
Die luftgelagerten Präzisionsspindeln der PDMS-Serie nutzen die charakteristische Viskosität von Gasen – nur 1/1000 der Viskosität von herkömmlichem Schmieröl – in Kombination mit einem speziellen Luftdruckkanal. Dadurch entsteht innerhalb der Spindel ein Luftdrucklager, das für hohe Tragfähigkeit sorgt. Dank ihrer umweltfreundlichen, schnellen und intelligenten Eigenschaften erfüllt die PDMS-Serie die Anforderungen der Halbleiterwaferbearbeitung, wie z. B. Vereinzeln, Ausdünnen und Polieren, und ist somit die ideale Wahl für die lokale Fertigung von Halbleiterkomponenten.
