적용 분야

반도체 웨이퍼 가공

PDMS 시리즈 공기 베어링 정밀 스핀들은 일반 윤활유의 1/1000에 불과한 가스 점도와 공기압 유동 채널 설계를 결합하여 스핀들 내부에 공기압 베어링을 형성함으로써 뛰어난 하중 지지 강성을 제공합니다. 친환경적이고 고속이며 스마트한 기능을 갖춘 PDMS 시리즈는 다이싱, 박막화, 연마 등 반도체 웨이퍼 가공에 필요한 모든 요구 사항을 충족하므로 반도체 제조 부품의 국산화에 이상적인 선택입니다.

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