Xử lý tấm bán dẫn
Trục chính chính xác ổ khí dòng PDMS tận dụng đặc tính độ nhớt của khí, chỉ bằng 1/1000 so với dầu bôi trơn thông thường, kết hợp với thiết kế kênh dẫn khí áp suất. Điều này tạo ra một ổ khí áp suất bên trong trục chính, cung cấp độ cứng chịu tải. Với các tính năng thân thiện với môi trường, tốc độ cao và thông minh, dòng PDMS đáp ứng các yêu cầu xử lý tấm bán dẫn, chẳng hạn như cắt, làm mỏng và đánh bóng, trở thành lựa chọn lý tưởng cho việc nội địa hóa các linh kiện sản xuất bán dẫn.
